真空ポンプ・コンプレッサーの両方を兼ねたオイルフリー機構
「吸気−圧縮室−吐出は大気と遮断・ダイヤフラム式同様ガス漏れ無し」
高圧力仕様タイプ ＮＫＣＶ「下側（吸気）・上側（吐出）」吸気真空-98kPa
高真空仕様タイプ ＮＫＶＣ「下側（吐出）・上側（吸気）」吐出圧力0.5MPa
 「6Ｗからの超小型も可能」
| 真空度 kPa (abs) |
100 |
90 |
80 |
70 |
60 |
40 |
30 |
30 |
10 |
3 |
| 排気速度 L/min |
76 |
67 |
57 |
49 |
37 |
29 |
18 |
13 |
4 |
0 |
| 吐出圧力 MPa |
0 |
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.4 |
0.5 |
0.6 |
0.7 |
0.8 |
0.9 |
| 吐出量 L/min |
114 |
112 |
108 |
105 |
100 |
94 |
88 |
84 |
78 |
72 |
 「10MPaの製作可能」
| 吐出圧力 MPa |
0.4 |
1.0 |
2.0 |
3.0 |
4.0 |
5.0 |
| 吐出量 L/min |
90 |
59 |
34 |
28 |
24 |
20 |
|
